Anar al contingut

Método Lely

De L'Enciclopèdia, la wikipedia en valencià
Erro al crear miniatura:
Un diagrama del método Lely modificat, que mostra un cresol de grafit rodejat de bobines d'inducció per al calfament. La charge carbur de silici es sublima des del fondo de la cambra i es deposita en la tapa superior, que està més freda.

El método Lely o procés Lely és una tecnologia de creiximent de cristals utilisada per a produir cristals de carbur de silici per a l'indústria de semiconductors. La palesa per a este procés va ser presentada en els Països Baixos en 1954 i en els Estats Units en 1955 per Jan Anthony Lely de Philips Electronics. La palesa va ser otorgada posteriorment el 30 de setembre de 1958, i va ser refinada per D. R. Hamilton et al. en 1960, i per V. P. Novikov i V. I. Ionov en 1968.[1]<span title="Erro en la seqüencia d'órdens: no existix el mòdul «DecodeEncode».">: Plantilla:R/where

Generalitats

[editar | editar còdic]

El método Lely produïx cristals de carbur de silici a granel a través del procés de sublimació. La pols de carbur de silici es carrega en un cresol de grafit, que es porga en gas argón i es calfa a aproximadament 2,500 °C (4,530 °F). El carbur de silici prop de les parets exteriors del cresol es sublima i es deposita en una barra de grafit prop del centre del cresol, que està a una temperatura més baixa.[1]

Existixen vàries versions modificades del método Lely, més comunament el carbur de silici es calfa des de l'extrem inferior en lloc de les parets del cresol, i es deposita en la tapa. Atres modificacions inclouen la variació de la temperatura, el gradient de temperatura, la pressió de argón i la geometria del sistema. Per lo general, s'utilisa un forn d'inducció per a alcançar les temperatures requerides d'1,800–2,600 °C (3,270–4,710 °F).[1]<span title="Erro en la seqüencia d'órdens: no existix el mòdul «DecodeEncode».">: Plantilla:R/where


Referències

[editar | editar còdic]
  1. 1,0 1,1 1,2 Byrappa, Kullaiah; Ohachi, {{{nom2}}} (2003). Crystal Growth Technology (en en), Springer Science & Business Mija. ISBN 9783540003670.