Activació electrostàtica neumàtica
L'activació electrostàtica neumàtica és un método d'actuació per a la formació de membranes fines per a sistemes microelectromecànics (MEMS), microelectromecànics (MEMS) i MOEMS.[1][2] Este método es beneficia de l'operació a alta velocitat i baix consum d'energia.[3] També pot causar grans deflexiones en membranes fines. Els dispositius MEMS d'electrostàtica neumàtica solen constar de dos membranes en una cavitat sagellada intermija. Una membrana anomenada actuador es desvia en la cavitat per pressió electrostàtica per a comprimir l'aire i aumentar la seua pressió. L'elevació de la pressió espenta l'atra membrana i provoca la forma de cúpula. En actuació electrostàtica directa sobre la membrana, es conseguix una forma cóncava. Este método s'utilisa en espills deformables MEMS per a crear espills convexos i cóncaus. L'actuació electrostàtica neumàtica pot duplicar el desplaçament màxim d'una membrana prima en comparació a la mateixa membrana accionada electrostáticament. [4]
Ademés, l'us de l'actuació electrostàtica neumàtica afig una ventaja mecànica.[5] ya que la cavitat està reblix d'aire, l'amplificament mecànic és més baixa que en un decorregut no compresible en una maquina hidràulica.
Referències
- ↑ K. J. Gabriel, O. Tabata, K. Shimaoka, S. Sugiyama, H. Fujita "Surface normal electrostatic/pneumatic actuator" Micro Electro Mechanical Systems 92 Travemunde (Germany), Feb. 1992
- ↑ Cleopatra Cabuz, Thomas R. Ohnstein, Michael R. Elgersma (2000), "Electrostatic/pneumatic actuator for active surfaces" US Patent No. 09/573,460
- ↑ Moghimi, M. J. Chattergoon, K. N. Dickensheets, D. L. “High speed focus control capability of electrostatic–pneumatic MEMS deformable mirrors” in Proc. of SPIE 8977, MOEMS and Miniaturized Systems XIII, Sant Francisco, CA, Mar. 2014, pp. 897709, 897709-9
- ↑ Moghimi, M. J. Wilson, C. R. Dickensheets, D. L., “Electrostatic-pnuematic MEMS deformable mirror for focus control” Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2012 International Conference on , Banff, Canada, Aug. 2012, pp.132-133
- ↑ (1 de giner de 2004) A TextBook of Theory of Machines, Firewall Mija. ISBN 9788170084181.
Referències
- Este artícul conté una traducció derivada de «Activación electrostática neumática» de Wikipedia en castellà publicada baix la Llicència de documentació lliure de GNU i la Llicència Creative Commons Reconeiximent-CompartirIgual 4.0 Internacional.