Processe lliga

Processe lliga

El procés X-ray LIGA ho desenrolle la Forschungszentrum Karlsruhe, Alemània, per a produir toveres per a enriquir urani.

El procés LIGA és un procés utilisat per a la fabricació de microsistemas, desenrollat cap a fins dels anys 1970 en Kernforschungszentrum Karlsruhe (KfK). Este procés originalment es va desenrollar en els quadros de treball sobre la separació dels isòtops d'urani. La sigla "LIGA" prové de l'alemà. És un abreujament per a "Röntgenlithographie, Galvanoformung, Abformung", que representen les diferents etapes d'este procés:

• La litografia de rajos X: a partir d'una primera caraça realisada en l'ajuda d'un canó d'electrons, el patró en dos dimensions de les microestructura és duplicat per litografia de rajos X sobre una capa de polímer fotosensible. La gruixa i el material de la caraça com el tamany de les microestructura determinen la gruixa màxima de la capa de polímer. El patró és a continuació revelat per a poder passar a l'etapa següent.
• La galvanisació per electro deposición: el metal és depositat sobre les microestructura revelades precedentement, sobretot la gruixa de la capa de polímer remanente. L'estructura aixina obtinguda servix directament a la formació en l'etapa següent si la gruixa és lo suficient per a l'aplicació prevista (el metal depositat és llavors el níquel o unes atres aleacions de níquel, les quals presenten una bona conductivitat i les qualitats requerides per a una electrodeposición de calitat, com aixina bones propietats mecàniques per al conformat), o són utilisades mentres que la caraça per a repetir la primera etapa de litografia de rajos X, a fi d'obtindre estructures més grosses (el metal depositat llavors és l'or, que presenta excelents qualitats electròniques per a la electrodeposición aixina com una alta absorció de rajos X).
• El conformat: despuix de la dissolució de el polímer remanente al voltant del com s'ha desenrollat la galvanisació, el bloc de metal és preparat per a servir de ferramenta de formació. Es poden llavors fabricar en série microestructura en polímer per formació (en matrius, estampat o molejat per injecció).

Este procediment permet fabricar microestructura relativament grosses (fins a 1 mm de gruixa) en séries chicotetes o mijanes. Es pot explotar no solament en el silici, pero també i sobretot en molts materials per a realisar microestructura 3D com a metals, ceràmics, i també dels vidres i polímer lo que amplia considerablement el camp d'aplicació dels MEMS. En este método el material constitutiu de la microestructura va a ser depositat solament sobre les zones a on es construirà. A continuació el mòle es dissol químicament. S'utilisen alguns polímer fotosensibles per a la realisació dels mòles segons un método fotolitogràfic clàssic (pero invertit posat que el polímer eixercita el paper fotorresistivo negatiu).

Aplicacions

• Micromotores
• Microactuadores electroestáticos o electromagnètics
• Microcaptadores d'acceleració
• Microcaptadores de distància
• Microespectrómetros

Links interns

• MEMS